SATOVAC佐藤真空_SDP-4_油擴散泵
特長 高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単獨運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空裝置內(nèi)の高真空排気裝置をご參照ください。 仕様表
型 式
排気速度
到達圧力*2
油逆流量
油量
電源
電力
始動時間
所要水量
臨界背圧
質(zhì)量
(1.3×10-3Pa時)
L/sec
Pa
mg/cm2min
mL
V/φ
W
min
L/min
kg
バッフル無/有
バッフル無/水冷バッフル付
SDP-2
125/58
×10-5
×10-2/×10-4
50
100/1
0.33
15
0.5
20
4
SDP-2A*1
58
7.5×10-4
4.7
SDP-3
280/150
100
1.0
6
SDP-3A*1
150
7.5
SDP-4
380/215
0.7
1.5
8
SDP-4A*1
215
10
SDP-6
810/465
340
200/1
3.0
SDP-8
1450/790
500
1.4
25
4.0
30
SDP-10
2070/1200
820
1.9
5.0
41
SDP-14
3600/2350
1600
200/3
4.5
7.0
120
*1 SDP-2A,SDP-3A,SDP-4Aは空冷式です。 *2 使用作動油： ライオンS
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