高真空での各種実験?開(kāi)発?生産プロセスに対応。
■空冷式により水配管不要、保守の負(fù)擔(dān)を軽減。
■場(chǎng)所を選ばない100V 電源。
■メインフレーム?ベースにアルミを採(cǎi)用、軽量化を?qū)g現(xiàn)。
■使いやすさを追求したコンパクト設(shè)計(jì)。
● 補(bǔ)助ポンプをダイアフラム型ドライ真空ポンプ、またはスクロール型ドライ真空ポンプと組み合わせてフルドライの排気系を?qū)g現(xiàn)可能。
● 起動(dòng)?停止に要する時(shí)間が短い。
● 不意の大気導(dǎo)入にも強(qiáng)い構(gòu)造のターボ分子ポンプを採(cǎi)用。
（注）故意に大気導(dǎo)入を繰返しますと故障の原因となります。
● より低コストで高真空雰囲気を得られます。
● 三方弁の切替機(jī)能により、補(bǔ)助ポンプのみの単獨(dú)排気運(yùn)転も可能。
● 保守點(diǎn)検が容易。
<TPS>タイプ
<DPS>タイプ
＊ 1. ターボ分子ポンプをベーキング?ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。 ＊ 2. 起動(dòng)時(shí)間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時(shí)間が異なります。 ＊ 3. 吸気口閉め切りでの値です。 ＊ 4. 補(bǔ)助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2 本）があります。 ＊お客様の使い勝手?仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたしま
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